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Proportion-Air比例閥:半導(dǎo)體晶圓拋光的精準(zhǔn)“操控者”

發(fā)布日期: 2025-07-09
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在半導(dǎo)體行業(yè),晶圓作為硅錠的薄片,是眾多電子應(yīng)用的基礎(chǔ)核心部件。而半導(dǎo)體晶圓拋光,作為準(zhǔn)備晶圓投入使用的關(guān)鍵步驟,其質(zhì)量直接影響著后續(xù)芯片制造的良品率和性能。在這一精密過程中,精確的力控制是制造出一致、高質(zhì)量產(chǎn)品的核心要素,Proportion-Air的比例閥憑借其優(yōu)秀性能,成為了半導(dǎo)體晶圓拋光領(lǐng)域的得力助手。



圖片 1.png


 


獨(dú)立精準(zhǔn),滿足多元拋光需求

在半導(dǎo)體晶圓拋光場景中,7個(gè)MM1比例閥被巧妙地安裝在SBM - 7子底座歧管上,共同承擔(dān)起控制彈簧加載氣缸上力的重任。這個(gè)底座設(shè)計(jì)十分精妙,擁有共同的進(jìn)氣口和排氣口,實(shí)現(xiàn)了氣源的集中管理,簡化了系統(tǒng)布局。而每個(gè)MM裝置又具備獨(dú)立工作的能力,在必要時(shí)可根據(jù)不同晶圓的拋光要求,單獨(dú)精確調(diào)節(jié)壓力,從而控制氣缸施加在晶圓上的力。這種獨(dú)立又協(xié)同的工作模式,使得同一拋光系統(tǒng)能夠靈活應(yīng)對多種規(guī)格和材質(zhì)晶圓的拋光任務(wù),大大提高了生產(chǎn)效率和設(shè)備的通用性。

 

閉式循環(huán),電子控壓穩(wěn)定可靠

 

MM系列作為具有成本效益的閉式循環(huán)閥門,在電子控制壓力方面表現(xiàn)出色。它能夠覆蓋從全真空到175 PSI的廣泛壓力范圍,無論是需要低壓精細(xì)拋光,還是正壓強(qiáng)力研磨,都能輕松勝任。其±0.2%全量程的準(zhǔn)確性,確保了壓力控制的精準(zhǔn)度,能夠?qū)飧咨系牧_調(diào)節(jié)到所需數(shù)值,為晶圓提供穩(wěn)定且均勻的拋光壓力。±0.02%全量程的重復(fù)性更是保證了每次拋光過程中力的施加高度一致,使得每一片晶圓都能達(dá)到相同的拋光效果,有效提高了產(chǎn)品的一致性和質(zhì)量穩(wěn)定性。

 

耐用設(shè)計(jì),適應(yīng)惡劣工業(yè)環(huán)境

 

半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的工作環(huán)境往往較為復(fù)雜,存在各種振動(dòng)、灰塵和不穩(wěn)定因素。MM系列比例閥充分考慮了這些實(shí)際工況,具備極其耐用的特性。它能夠承受工業(yè)環(huán)境中的各種挑戰(zhàn),包括店鋪空氣中的雜質(zhì)、設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的振動(dòng)等,抗沖擊和振動(dòng)能力高達(dá)25 Gs。即使在這樣惡劣的條件下,依然可以根據(jù)用戶的命令信號輕松、準(zhǔn)確地控制壓力,確保拋光過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性,減少了因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷和晶圓損壞風(fēng)險(xiǎn),為半導(dǎo)體企業(yè)降低了生產(chǎn)成本。

 

反饋靈活,實(shí)現(xiàn)閉環(huán)精準(zhǔn)調(diào)控

 

MM系列比例閥還具備可配置外部反饋的優(yōu)勢,能夠接受負(fù)載傳感器或其他類型的變送器作為第二個(gè)回路輸入。這一設(shè)計(jì)使得系統(tǒng)形成了閉環(huán)控制,通過實(shí)時(shí)監(jiān)測氣缸上的實(shí)際壓力,并將反饋信號傳輸給比例閥,比例閥可以根據(jù)反饋信息及時(shí)調(diào)整輸出壓力,進(jìn)一步提高了力控制的精度和響應(yīng)速度。例如,當(dāng)負(fù)載傳感器檢測到氣缸壓力因外界因素發(fā)生微小變化時(shí),比例閥能夠迅速做出反應(yīng),將壓力調(diào)整回設(shè)定值,確保晶圓拋光過程始終處于最佳狀態(tài)。

 

多壓兼容,簡化系統(tǒng)復(fù)雜程度

 

MM系列比例閥的另一大亮點(diǎn)是可以在同一裝置中控制真空、低壓和正壓。這一特性極大地簡化了半導(dǎo)體晶圓拋光系統(tǒng)的設(shè)計(jì),減少了所需設(shè)備的數(shù)量和系統(tǒng)復(fù)雜程度。在傳統(tǒng)的拋光系統(tǒng)中,可能需要多個(gè)不同類型的閥門來分別控制不同壓力范圍,而MM系列比例閥憑借其多壓兼容能力,一個(gè)閥門就能滿足多種壓力控制需求,不僅節(jié)省了空間和成本,還提高了系統(tǒng)的可靠性和可維護(hù)性。

 

規(guī)格多樣,安裝便捷適配性強(qiáng)

 

從技術(shù)規(guī)格來看,MM系列比例閥最大流可達(dá)1.2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺每分鐘(34升每分鐘),能夠滿足不同規(guī)模拋光生產(chǎn)線的流量需求。1/8″ NPT(可選BSPP)的端口大小,方便與各種管道和設(shè)備連接。其工作溫度范圍為32 - 158°F (0 - 70°C),過濾精度為40微米,能夠有效保護(hù)閥門內(nèi)部零件,延長使用壽命。此外,它還提供了DIN導(dǎo)軌、面板和歧管等多種安裝選項(xiàng),最多可在子基座集管上安裝12個(gè)MM,為企業(yè)根據(jù)自身生產(chǎn)場地和設(shè)備布局進(jìn)行靈活安裝提供了便利。

 

Proportion-Air的比例閥以其獨(dú)立精準(zhǔn)的控制能力、穩(wěn)定可靠的閉式循環(huán)控壓、耐用的設(shè)計(jì)、靈活的反饋機(jī)制、多壓兼容特性以及多樣的規(guī)格和便捷的安裝方式,在半導(dǎo)體晶圓拋光領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用,為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)出高質(zhì)量、一致性的晶圓產(chǎn)品提供了有力保障。如有需求,歡迎咨詢天津聯(lián)科思創(chuàng)科技發(fā)展有限公司。

 

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